FCVA法制备的超薄类金刚石薄膜的结构分析

作者：车晓舟; 尹云飞; 马洪涛; 刘凡新

来源：真空, 2011, (02): 28-32.

DOI：10.13385/j.cnki.vacuum.2011.02.021

• 真空阴极过滤电弧
• 类金刚石薄膜
• 结构 FCVA
• DLC film
• structure

用真空阴极过滤电弧(Filtered Cathode Vacuum Arc,FCVA)法制备厚度分别为50 nm,30 nm,10 nm,5 nm,2 nm的类金刚石(DLC)薄膜,利用拉曼光谱和电子能量损失谱研究了薄膜的结构,分析了硬度和内应力的变化趋势。结果表明,随着薄膜厚度的减小,可见光拉曼光谱高斯分解的G峰位置向低波数方向移动,D峰和G峰强度之比Id/Ig不断增大,G峰面积与D峰面积之比Ag/Ad减小;说明随着薄膜厚度的减小,DLC薄膜中的sp3键含量减少,有序化的sp2团簇增加。电子能量损失谱的结果也表明薄膜厚度的减小会引起薄膜中sp3键含量的减少。当薄膜的厚度由50 nm变为30 ...

• 出版日期2011
• 单位东莞新科技术研究开发有限公司; 华南理工大学