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摘要
以单晶硅(111)和载玻片为基体,采用离子束辅助沉积技术沉积AlOxNy薄膜,使用XPS、XRD和椭偏仪研究了氮氧比对AlOxNy薄膜的成分、相结构和光学常数的影响。结果表明,随着氮氧比减小,薄膜中氮含量减小,氧含量增加;薄膜由非晶态转变为结晶态,结晶相为AlOxNy。沉积薄膜的消光系数为零,呈现电介质特性。随着氮氧比减小,沉积薄膜的折射率减小。随着氮氧比的减小,薄膜中的Al-O键增多是导致AlOxNy薄膜折射率减小的主要原因。
- 出版日期2018
- 单位中国地质大学（北京）; 北京有色金属研究总院
