<正> 在半导体测量中,常规方法是把金属探针压接在半导体硅单晶表面上,电流通过金属探针与晶体表面的接触点流到体内,以探索晶体的各种性质。金属探针要求选用坚硬、耐磨的低阻材料。如合金钢、碳化钨、锇钨金属、锇钌合金等。所用的探针尖的磨损将给测量结果带来不可忽略的系统误差。本文以四探针法为例,在不考虑电压测量、电流大小、探针间距测量及
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