考虑投影畸变设计大口径离轴非球面检测用计算全息图

作者：李明; 罗霄; 薛栋林; 赵晶丽; 郑立功; 张学军

来源：光学精密工程, 2015, 23(05): 1246-1253.

• 投影畸变
• 大口径离轴非球面
• 计算全息图
• 光学检测

对大口径离轴非球面进行零位补偿检测时,投影畸变过于严重的区域会由于干涉条纹密度过大而无法检测,从而使加工难以进行。针对此问题,本文采用相对畸变参数定量描述投影畸变,设计了自由度更高、补偿能力更强的计算全息图(CGH)检测方法。该方法在CGH设计阶段考虑投影畸变分布,选择合适的光路结构使得所有区域的投影畸变均较小。根据此方法,对直径为1.45m的离轴非球面设计了比零位补偿器畸变小的CGH。检测实验显示:使用设计的CGH可检测非球面的全口径面形误差,验证了在CGH设计阶段考虑投影畸变的正确性与实用性,表明该方法可解决加工过程中零位补偿器由于投影畸变导致部分区域不能检测的问题。以CGH的检测结果为指导,目前该1.45m直径的离轴非球面加工精度已达0.374λPV,0.023λRMS。

• 出版日期2015
• 单位中国科学院大学; 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所