能动磨盘加工与数控加工特性分析

作者：范斌; 万勇建; 陈伟; 杨力; 曾志革; **; 吴时彬

来源：中国激光, 2006, (01): 128-132.

• 光学设计
• 能动磨盘
• 能动磨盘加工
• 数控加工
• 功率谱密度 optical design
• active-lap
• computer control active-lap
• computer control optical surface
• power spectral density

能动磨盘加工(CCAL)与数控加工(CCOS)是大型非球面主镜加工有别于经典加工的两种新型加工工艺,针对这两种主镜加工工具,建立了各自的加工去除函数模型,从理论上分析了两者的加工特性,并在直径1300 mm非球面主镜加工实验的基础上,根据主镜面形ZYGO干涉仪和哈特曼-夏克(Hartmann-Shack)传感仪的检测数据,利用功率谱密度(PSD)和相位梯度进一步探讨了这两种加工工艺对主镜面形中高频差的影响,提出了将能动磨盘加工与数控加工相结合的主镜加工工艺方法。

• 出版日期2006
• 单位中国科学院光电技术研究所