活塞间隙型流导性能研究

作者：王金库; 于红燕; 葛楚鑫

来源：真空, 2014, (05): 32-35.

DOI：10.13385/j.cnki.vacuum.2014.05.042

• 微小流导
• 微小气体流量
• Knudsen’s minimum small conductance
• small gas flow rate
• Knudsen's minimum

本文设计了一种基于活塞间隙的微小流导结构,流导数值可调,采用实验的方法研究了微小流导的压力特性、温度特性及调节重复性。讨论了该流导在微小气体流量计量的应用情况及前景。

• 出版日期2014
• 单位中国计量科学研究院