摘要

本文介绍了一种薄膜结合强度的新型测量方法~刮剥法的测量原理、特点以及应用范围。所谓薄膜结合强度的刮剥式测量方法(简称刮剥法),实际上是一个使用特制刮剥刀具、以类似于薄层金属刮削方式工作,并以从基底上剥离薄膜所需能量作为其结合强度量度的测量方法。刮剥法与现广泛使用的划痕式结合力测量法的区别主要表现为:(1)该法是一个能量测量方法,即以薄膜的剥离能量作为薄膜与基体的结合强度的描述;(2)测量时采用的是对膜/基界面的切向加载方式;(3)测量结果是对膜/基结合强度的直接描述,并对基底表面状态、材质等不敏感;(4)可以对其它方法无法进行测量的超硬材料薄膜,如金刚石和立方氮化硼等,进行结合强度测量。本文通...