科研之友
微信
新浪微博
Facebook
分享链接
摘要
氮化铝（AlN）陶瓷具有良好的综合性能，如热导率高、绝缘性能好、介电常数和介电损耗低，与硅相匹配的的线膨胀系数以及室温高温机械性能良好、无毒等，是大规模集成电路基板和和大功率器件封装的理想材料，并可用作光功能材料，高温结构材料和以及多种复合材料。 AlN作为一种强共价键化合物，熔点很高，自扩散系数小，很难烧结致密化，而致密度不高的陶瓷不能保证良好的性能，在很大程度上限制了AlN的应用。放电等离子烧结技术(SPS)是一种有着其独特技术优势的新型烧结方法，其成型致密化温度低，烧结时间短，在促进AlN的致密化烧结和提高生产效率降低成本方面具有极大的应用空间。 本文利用SPS方法对纯AlN...
- 出版日期2013
- 单位华中科技大学
