低温ITO薄膜制备及光电特性的研究

作者：林钰; 李慧灵; 王宇婷; 辛荣生; 贾晓林

来源：河南教育学院学报(自然科学版), 2010, 19(02): 16-17.

• 低温
• ITO薄膜
• 电阻率
• 透光率 low temperature
• ITO thin film
• resistivity
• transmissivity

采用直流磁控溅射ITO陶瓷靶的低温工艺,在柔性基片上镀制ITO薄膜,研究了氧氩体积流量比、溅射气压、溅射速率等工艺条件对ITO薄膜光电性能的影响,并得到了可见光透过率大于80%,电阻率小于3.0×10-4Ω.cm的ITO薄膜.

• 出版日期2010
• 单位郑州大学; 河南教育学院