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摘要
二次离子质谱是一种用于分析固体材料表面组分的重要手段,广泛应用于化学、生物学、微电子、陶瓷、新材料研究等领域。基于二次离子质谱测试原理,分析了其在材料研究过程中的定性分析、杂质定量分析、深度剖面分析、分布成分分析等,为材料研究同行提供借鉴。
- 出版日期2021
- 单位陕西宝光真空电器股份有限公司
二次离子质谱是一种用于分析固体材料表面组分的重要手段,广泛应用于化学、生物学、微电子、陶瓷、新材料研究等领域。基于二次离子质谱测试原理,分析了其在材料研究过程中的定性分析、杂质定量分析、深度剖面分析、分布成分分析等,为材料研究同行提供借鉴。
