利用直流或射频磁控溅射法溅射沉积非晶NiTi合金薄膜研究了550℃晶化热处理0．5h的51．6％Ni－Ti形状记忆薄膜的力学性能．弯曲和拉伸实验结果表明：自由状态的NiTi薄膜具有良好的形状记忆效应．形状记忆的恢复率几乎接近100％．与相同组分和相同热处理条件下的块体合金材料的形状记忆性能的实验数据相比较是相当的．
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