摘要

设计了一种用于高重复率准分子激光器的正弦恒流型高压开关电源,逆变主电路采用串联谐振回路,输出电压10kV至15kV,重复率1Hz至300Hz。分析了逆变回路工作情况,介绍了变压器的参数计算方法和所采取的抗电磁干扰措施。电源体积小巧,运行稳定。经改进可使重复率提高到600Hz。

  • 出版日期2009-8-15
  • 单位中国科学院安徽光学精密机械研究所; 中国科学院,安徽光学精密机械研究所