后摩尔时代取代硅的微电子材料——碳纳米管和石墨烯

作者：翟译晨; 翟冠杰

来源：南京信息工程大学学报(自然科学版), 2011, (02): 173-182.

DOI：10.13878/j.cnki.jnuist.2011.02.012

• 微电子材料
• 碳纳米管
• 石墨烯
• 构建器件 microelectronic materials
• Carbon nanotubes(CNTs)
• Graphene nanoribbons(GNRs)
• construction of device

在硅电子材料即将发展到顶峰时,碳纳米管及石墨烯以其优良的导体和半导体性质将成为延续硅材料的主流微电子材料.详述了碳纳米管和石墨烯的结构与电学性质,从而说明其作为微电子材料的优势,列举了在微电子器件构建中已经取得的成果及构建器件的方法,并简述了相应碳纳米管和石墨烯的制备方法.

• 出版日期2011
• 单位德州学院; 长春理工大学