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摘要
参量放大效应是一种非线性振动放大效应,利用该效应可以极大地增加MEMS陀螺和加速度计等谐振式传感器的振幅,从而提高谐振式传感器检测灵敏度和信噪比。根据理论分析和有限元仿真结果,设计了一种MEMS参量放大结构。该结构采用SOG工艺加工,在950 Pa左右的气压环境下对该结构进行了实验研究,并得到了该结构参激电压、相位与放大倍数之间的关系。实验结果表明:参量放大效应的实测结果与理论分析结果吻合很好,当参数激励电压为5.7 V时,参量放大倍数超过50倍,大幅提高了结构的振幅,为以后应用参量放大效应提高MEMS惯性仪表性能提供了一种新方法。
- 出版日期2013
- 单位清华大学
