一种基于QCM的液相混合微芯片的制作与应用

作者：朱德峰; 许宝建; 程建功; 金庆辉; 赵建龙; 徐元森

来源：功能材料与器件学报, 2010, (02): 153-157.

• QCM
• SU-8
• PDMS
• 混合
• 谐振 QCM
• SU-8
• PDMS
• mixing
• resonance

生物定量检测中,生物样品是否均匀混合的研究意义重要。石英晶体微质量天平(QCM)因其振幅谐振机理,而具备优异的超声混合性能。本文结合微电子机械系统(MEMS)工艺,利用双面曝光、QCM预支撑和120℃长时间烘胶等改进方法,制备了尺寸可控、表面平整、结合紧密的SU-8芯片主体结构,利用聚二甲基硅氧烷(PDMS)封装获得完整的液相混合微芯片,最后利用罗丹明B荧光染料和SiO2纳米球对芯片的混合性能进行了表征。同时,本文提供了一种小体积、便捷、通用性好的液相混合微芯片的制备方法。

• 出版日期2010
• 单位中国科学院大学; 香港理工大学; 中国科学院上海微系统与信息技术研究所