多壁碳纳米管湿度传感器频率特性(英文)

作者：刘晓为; 赵振刚; 王鑫; 周新来

来源：纳米技术与精密工程, 2010, (04): 285-289.

DOI：10.13494/j.npe.2010.052

• 碳纳米管(CNTs)
• 湿度传感器
• 频率特性
• 毛细凝聚现象
• 介电常数 carbon nanotubes(CNTs)
• humidity sensor
• frequency properties
• capillary condensation
• dielectric constant

为了研究测试频率对传感器性能的影响,改善多壁碳纳米管(multi-walled carbon nanotubes,MWCNTs)湿度传感器检测方法并提高传感器检测精度,对传感器频率特性进行了分析.在玻璃衬底上利用蒸镀和光刻技术制作了叉指电极,在电极表面涂敷了MWCNTs-SiO2敏感薄膜,最后通过烧结完成传感器制作.利用饱和盐溶液法产生相应湿度值,并使用RCL自动测试仪对传感器进行测试,测试频率选择在1 kHz到500 kHz之间.对传感器频率特性进行了实验与理论分析,结果表明,该传感器电容值对环境湿度敏感,并且其敏感特性受传感器检测频率的影响.使用毛细凝聚理论以及电解质物理理论对上述实验现象...

• 出版日期2010
• 单位哈尔滨工业大学