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摘要
图像失真问题是数字光刻系统中很重要的问题，为了优化数字光刻图形质量提出了一种改进的灰狼优化算法（FGWO）。采用图形保真度作为适应度函数，掩模图案中的像素被用作灰狼个体，然后以狼群团体合作狩猎机制使掩模图形得到优化。对两种不同复杂度的数字掩模图形的仿真验证表明FGWO算法相比SFL-GWO算法和LGWO算法，图像误差分别降低了82.46%、76.74%和81.46%、75.03%。通过实验结果可以看出，同一实验环境下，FGWO算法优化后掩模光刻图形质量较之SFL-GWO算法和LGWO算法得到了很大的改善。
- 出版日期2022
- 单位长春理工大学; 电子信息工程学院
