碲镉汞衬底上沉积类金刚石薄膜的界面分析

作者：居建华; 夏义本; 桑文斌; 王林军; 吴汶海; 汤定元

来源：红外与毫米波学报, 2002, (03): 238-240.

• 类金刚石
• 薄膜
• 红外
• 界面 Diamond like carbon
• film
• infrared
• interfaces.

采用等离子增强化学气相法 (PECVD)在碲镉汞 (MCT)衬底上沉积纳米颗粒的类金刚石薄膜 (DLC) ,对DLC MCT界面进行了俄歇电子能谱 (AES)分析 ,并与离子溅射法 (IS)沉积的ZnS MCT界面比较 ,结果表明DLC和ZnS薄膜都能较好地抑制MCT中HgTe的分解 ,在一定程度上阻挡了MCT中Hg的外扩散 .相对于ZnS中的S而言 ,DLC的C在MCT中的内扩散深度较小 (前者为 4 0 0 ,而后者仅为 2 0 0 ) .红外透射光谱结果表明DLC膜比ZnS膜具有更好的抗反射效果

• 出版日期2002
• 单位上海大学; 中国科学院上海技术物理研究所; 材料科学与工程学院