SOI高温压力传感器专用集成电路设计

作者：程鑫; 陈东亮; 吴亚林; 田雷; 寇文兵

来源：磁性材料及器件, 2018, 49(01): 50-54.

DOI：10.19594/j.cnki.09.19701.2018.01.013

• 压力传感器
• 恒定跨导运放
• 专用集成电路
• 设计

针对压力传感系统高温条件下无法稳定工作、性能下降等问题,设计了一种基于SOI CMOS高温工艺的压力传感器专用集成电路(ASIC),主要由零温度系数恒流源、仪表运算放大器(由恒定跨导运放组成)和零温度系数电压基准组成,具有为压力传感器供电、放大输出信号及调节零点的功能,重点介绍了零温度系数恒流源、仪表运放及组成仪表运放的运算放大器等相关电路。仿真结果表明,-55225℃温度范围内,恒流源温度系数为109ppm/℃,运算放大器输入MOS管跨导几乎与温度无关,仪表运放输入输出电压成正比且共模抑制比高达125 d B。测试结果显示该压力传感器专用集成电路可在225℃下正常工作。

• 出版日期2018
• 单位中国电子科技集团公司第四十九研究所