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摘要
为指导某600 mm口径的双曲面反射镜的加工，设计了Ronchi光栅检测系统。针对系统检测过程中存在的杂光现象，分析产生该现象的原因，并提出相应的解决方案。结果表明，在光线两次经过光栅的光路结构中，分光棱镜的剩余反射率大于5%时，像面处暗条纹的照度增大27倍，条纹明暗对比度下降，难以分辨；随着光栅剩余反射增加，条纹中心产生亮斑现象，条纹无法分辨。条纹面正对分光镜的亮斑区域的背景照度增加40多倍，玻璃面正对分光镜的亮斑区域的背景照度增加80多倍。通过优化系统结构，对分光镜与光栅进行替换与表面处理，有效解决了杂光问题，提高了像面条纹对比度。
- 出版日期2023
- 单位中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
