一种提高镁在Ⅲ-Ⅴ族氮化物中掺杂效率的方法

作者：李京波; 纪攀峰; 朱峰

来源：2009-12-02, 中国, CN200910241698.5.

本发明公开了一种提高镁在III-V族氮化物中掺杂效率的方法,该方法是在镁掺杂的p型III-V族氮化物的表面蒸镀一层2nm至10nm的碲,然后在N2气氛下退火,并用酸性液体洗掉蒸镀在p型III-V族氮化物上的碲。利用本发明,使镁在III-V族氮化物中的掺杂效率大大的提高,增加了p型III-V族氮化物中空穴的浓度。

• 出版日期2009-12-2
• 单位中国科学院半导体研究所