不同气氛对低温离子氮化渗氮组织的影响

作者：朱振中; 刘章鹏; 苏东艺; 彭继华

来源：中国真空学会薄膜专业委员会、中国硅酸盐学会薄膜与涂层分会, 中国,湖北省,武汉市.

• 低温离子渗氮
• 等离子体辅助渗氮
• 空心阴极放电等离子体
• 氮化气氛
• 微观组织

本文采用空心阴极辅助离子渗氮设备对H13钢分别进行了不同气氛的低温离子渗氮,反应气氛分别为:纯N_2,流量比分别为2:1及4:1的氮氢混合气,N_2+5%CH_4(流量比)混合气。采用金相显微镜(OM),X射线衍射仪(XRD),扫描电子显微镜(SEM)对样品组织与形貌进行表征。研究结果表明:纯氮气渗氮时,真空室内的微量氧易与Fe反应在表面形成一层纳米氧化膜,该膜层阻碍N原子的渗入,影响渗氮层的厚度;在活性氮原子充足的情况下,氢气越多则化合物层越厚,渗层越深,但脉状组织趋势也增加;通入N_2+5%CH_4混合气时,甲烷所起的作用与通入氢气类似。氢气在渗氮过程中的主要机理是起了还原作用,导致表层氧...

• 出版日期2015
• 单位广州今泰科技股份有限公司; 华南理工大学