等离子化学气相沉积工艺后硅片检测系统的设计

作者：康冬妮

来源：电子工业专用设备, 2017, (04): 24-27.

• 膜厚
• 折射率
• 缺陷
• 检测 Film thickness
• Refractive index
• Defect
• Testing

等离子化学气相沉积工艺是太阳能电池片制造过程中的重要环节,其Si N膜的质量直接影响着电池片的转换效率和长期可靠性。针对目前面临的检测难题,设计出硅片自动检测系统,以此来达到提高电池片质量及生产效率的目的。

• 出版日期2017
• 单位中国电子科技集团公司第二研究所