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Annealing behavior and electrical properties of atomic layer deposited PbTiO3 and PZT films
作者：Yang Jung In; Welsh Aaron; Sbrockey Nick M; Tompa Gary S; Polcawich Ronald G; Potrepka Daniel M; Trolier McKinstry Susan
来源：
Journal of Crystal Growth
, 2018, 493: 45-50.
DOI：10.1016/j.jcrysgro.2018.04.004
出版日期
2018-7-1
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