摘要

螺旋通道过渡流和滑流状态下抽气特性的理论是分子泵研究的最重要的课题之一。在这篇文章中,介绍了一种螺旋槽移动的计算抽气特性的理论模型。根据这一模型,可以模拟分子泵在过渡流和滑流工作条件下的抽气性能。这一理论模型是MDP设计的基础和抽气特性优化的必要条件。

  • 出版日期1995-1-15
  • 单位中国科学院北京真空物理实验室; 东北大学