常关型氮化镓基器件及其制作方法

作者：毛维; 王海永; 杨翠; 郝跃

来源：2020-07-28, 中国, CN202010735341.9.

本发明公开了一种常关型氮化镓基器件及其制作方法,主要解决现有功率开关器件存在的阈值电压低的问题,其自下而上包括：衬底(1)、过渡层(2)、势垒层(3)和保护层(11),势垒层(3)的侧面刻有台面(9),势垒层(3)的上部设有栅柱(6)；栅柱(6)的左右侧分别淀积有源极(7)和漏极(8),栅柱(6)的上部淀积有栅极(10)。该栅柱(6)由P型层(4)和N型排柱(5)组成,N型排柱(5)是由若干个长方形N柱组成。本发明具有阈值电压高、可靠性好和制作工艺简单的优点,可作为开关器件。

• 出版日期2020-7-28
• 单位西安电子科技大学