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Size-dependent effects of surface stress on resonance behavior of microcantilever-based sensors
作者：Sohi Ali Najafi; Nieva Patricia M
来源：
Sensors and Actuators A: Physical
, 2018, 269: 505-514.
DOI：10.1016/j.sna.2017.12.001
出版日期
2018-1-1
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