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Nano-tribometer integrated with a nano-photonic displacement-sensing mechanism (vol 21, 065014, 2011)
作者：Yu Hongbin
*
; Zhou Guangya; Chew Xiongyue; Sinha Sujeet K; Chau Fook Siong
来源：
Journal of Micromechanics and Microengineering
, 2013, 23(1): 019501.
DOI：10.1088/0960-1317/23/1/019501
出版日期
2013-1
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