多层膜的激光感生热电电势效应研究

作者:唐亚陆; 谢礼兰; 张辉
来源:中国陶瓷工业, 2008, (03): 8-10.
DOI:10.13958/j.cnki.ztcg.2008.03.010

摘要

实验表明,衬底的角度和膜的周期(总厚度)对多层膜的LITV值有很大影响,多层膜在连续激光作用下的LITV效应,与在脉冲激光作用下的LITV效应有大致相同的规律;多层膜的LITV值与衬底的倾角及膜的厚度关系与单层膜的公式相符,PLD技术溅射沉积的多层膜有类似于单晶般的晶体结构。

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