硅肖特基结自滤波窄带近红外光探测器的研究

作者：刘浩; 徐艳; 宋龙梅; 夏宇; 于永强^*

来源：合肥工业大学学报(自然科学版), 2022, 45(03): 342-346.

DOI：10.3969/j.issn.1003-5060.2022.03.010

• 肖特基结
• TCAD仿真
• 近红外光探测器
• 窄带

窄带近红外光探测器因对特定波长有很高的灵敏度，在临床诊断、治疗设备或可穿戴的功能性监测设备等生物医学领域具有广阔的应用前景。文章基于硅基光吸收及肖特基结光生载流子收集特性的分析，首次采用Silvaco TCAD设计了光谱可调的硅/石墨烯肖特基二极管窄带近红外光探测器。利用湿法转移石墨烯电极制备了硅/石墨烯肖特基二极管，光电特性表征发现，器件具有自滤光的、可见光盲的近红外窄带响应，中心波长为1 010 nm,半峰宽为180 nm,成功验证了硅基肖特基窄带近红外光探测器的设计。研究结果为窄带近红外光探测器等新型光电探测器的设计提供一定的理论支持和实验参考。

• 出版日期2022
• 单位合肥工业大学