摘要

基于MEMS(微机电系统)扭镜的光束偏转技术是实现VOA(可调光衰减器)的主流技术方案之一,但其存在WDL(波长相关损耗)较大的问题。通过分析WDL的成因,提出了一种优化设计方案。实验测得在波长范围1.531.57μm与衰减范围020dB内,WDL最大为0.21dB,验证了理论分析的正确性。

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