单晶圆兆声清洗技术研究及兆声喷头方案优化

作者：刘永进; 杜建科; 冯小强

来源：电子工业专用设备, 2011, (01): 15-17.

• 单晶圆
• 兆声
• 清洗 Single-wafer
• Megasonic
• Cleaning

基于单晶圆兆声清洗的原理,分析了针对单晶圆兆声清洗的多种方案的优缺点,提出了适合单晶圆兆声清洗的优化方案。

• 出版日期2011
• 单位中国电子科技集团公司第四十五研究所