快速前处理TFA-MOD制备YBCO超导薄膜的研究

作者：丁灵效; 陈文祥; 熊杰; 陶伯万

来源：低温与超导, 2009, (04): 28-32.

DOI：10.16711/j.1001-7100.2009.04.009

• YBCO
• TFA-MOD
• 快速前处理 YBCO
• Rapid pyrolysis process

三氟乙酸盐金属有机物沉积(TFA-MOD)方法是制备YBa2Cu3O7(YBCO)超导薄膜最有应用前景的方法之一。采用快速前处理TFA-MOD的方法在LaAlO3单晶基片上生长YBCO薄膜并与常规的TFA-MOD方法进行对比研究。XRD分析表明用快速前处理TFA-MOD方法制备的YBCO薄膜的c轴取向一致性,没有常规的TFA-MOD制备的YBCO薄膜好。SEM的分析表明快速前处理TFA-MOD制备的YBCO超导薄膜表面有孔洞和YBCO(103)取向生长的晶粒,常规方法制备的YBCO薄膜表面比较光滑,孔洞较少。虽然较常规方法制备的薄膜的临界电流密度(JC)低,但超导电性能分析表明,快速前处理方法...

• 出版日期2009
• 单位电子科技大学; 电子薄膜与集成器件国家重点实验室