物理瞬态阈值开关器件及其制备方法和装置

作者：马晓华; 孙静; 王宏; 杨眉

来源：2021-08-25, 中国, ZL202110984127.1.

本发明公开了一种物理瞬态阈值开关器件及其制备方法和装置,使用惰性金属材料,在衬底上制备底电极,将聚乙烯醇溶液滴在所述底电极上,以使聚乙烯醇溶液覆盖所述底电极的面积大于所述底电极表面积的一半,使用旋涂机进行旋涂,以使聚乙烯醇溶液分散于所述底电极表面,得到阻变功能层,使用活性金属材料,在所述阻变功能层上制备顶电极,得到物理瞬态阈值开关器件。该方法绿色环保,且适用于大面积旋涂,制备过程较为简洁,有助于大面积、高质量的物理瞬态阈值开关器件的制备。另外,物理瞬态阈值开关器件可以在溶液环境中实现触发式自销毁,保障了数据的安全存储。

• 出版日期2021-8-25
• 单位西安电子科技大学