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摘要
为了满足飞秒超快激光技术和集成光学发展的需要、解决βBaB2O4(βBBO)体单晶中因厚度带来的群速度失配问题以及脉宽展宽等问题,人们开始了βBBO薄膜的制备技术研究。文章简要总结了现有的βBBO薄膜的制备技术,包括溶胶凝胶法、脉冲激光沉积法、磁控溅射法和金属有机化学气相沉积法;讨论了各种制备技术的发展现状及其优缺点;提出了目前薄膜制备及应用中存在的一些问题及今后的发展方向。
- 出版日期2004
- 单位中国科学院上海光学精密机械研究所
为了满足飞秒超快激光技术和集成光学发展的需要、解决βBaB2O4(βBBO)体单晶中因厚度带来的群速度失配问题以及脉宽展宽等问题,人们开始了βBBO薄膜的制备技术研究。文章简要总结了现有的βBBO薄膜的制备技术,包括溶胶凝胶法、脉冲激光沉积法、磁控溅射法和金属有机化学气相沉积法;讨论了各种制备技术的发展现状及其优缺点;提出了目前薄膜制备及应用中存在的一些问题及今后的发展方向。
