不同偏振方向下飞秒激光单点烧蚀硅表面形成了椭圆形弹坑。实验结果发现,沿着激光偏振方向,形成了椭圆形弹坑。随着激光脉冲能量密度的增加,弹坑的形状逐渐接近圆形。利用时域有限差分法（FDTD）分析了物理机理,表面微纳缺陷或初始烧蚀点引起硅表面烧蚀区域电场重新分布,使得电场强度沿着激光偏振方向增强,因此形成了椭圆形状的弹坑。
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