X-Factor理论在半导体晶圆制造中的应用

作者:许圣良; 钱省三; 马慧民; 任建华
来源:半导体技术, 2007, (08): 665-668.
DOI:10.13290/j.cnki.bdtjs.2007.08.007

摘要

目前快速响应市场和降低成本成为半导体企业重点强调的目标,这就需要较短的生产周期和最大限度地使用最少的设备。但实际中,生产周期和设备利用率存在着此消彼长的关系。介绍了一种X-factor理论,其具有综合考虑这两者关系的优点,目前该理论在国际半导体企业中已经得到运用。就此方法与传统的监测和优化设备瓶颈方法进行比较,得出了此方法的合理性和优越性。

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