MEMS与智能化微系统

作者：欧毅; 陈大鹏

来源：电子工业专用设备, 2005, (01): 10-14.

• MEMS
• CMOS
• 智能微系统 MEMS
• COMS
• Intelligentized microsystem

智能化微系统是MEMS的下一步的发展方向,介绍了几种构成智能微系统的集成方式,分析了微系统在应用、研究中存在的问题。

• 出版日期2005
• 单位中国科学院微电子研究所