在利用联合原子模型并考虑静电力作用的基础上,采用分子动力学模拟方法研究了金探针作用下分子沉积膜的纳米压痕过程,并对其纳米力学行为进行了理论分析.结果表明,分子沉积膜在探针压下过程中出现了明显的接触跳跃现象,探针下面的膜的分子倾角和法向载荷呈现出相同的滞后趋势,这可能是探针和分子沉积膜之间粘着力作用的结果.
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