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摘要
本发明公开了一种四压力膜结构差动型石英梁谐振压力传感器,包括压力膜层和谐振层；所述压力膜层上形成有第一压力膜、第二压力膜、第三压力膜和第四压力膜,第一压力膜的正面设有第一凸台,第二压力膜的正面设有第二凸台,第三压力膜的正面设有第三凸台,第四压力膜上的正面设有第四凸台；所述谐振层上具有镂空区,所述镂空区中形成有第一锚点、第二锚点、第三锚点、第四锚点、双端固支第一悬空石英梁以及双端固支第二悬空石英梁,各凸台与各锚点接合。本发明通过设计两组石英梁和四个压力膜,改变石英梁在压力膜上的偏置程度,使两组石英梁的谐振频率产生差值,提高传感器的灵敏度,并同时减小因环境温度波动而产生的热误差的影响。
- 出版日期2019-8-14
- 单位合肥工业大学
