ZnO基透明导电薄膜材料在LED中的应用研究

作者：王钢; 范冰丰; 杨景川; 胡锐钦; 童存声; 吴志盛; 裴艳丽; 江灏

来源：2013广东材料发展论坛——战略性新兴产业发展与新材料科技创新研讨会, 2013-11-20.

• 导电薄膜
• 宽禁带半导体薄膜
• ZnO
• LED

<正>ZnO宽禁带半导体薄膜材料在透明导电薄膜、紫外光探测器、光电子器件、透明薄膜晶体管、表面声波器件、传感器等领域有着潜在应用,成为21世纪备受瞩目的材料体系,具有重大的科学研究价值和广阔的产业化应用前景。由于生长方法的局限严重阻碍了ZnO宽禁带半导体材料的科学研究和产业应用进程。MOCVD技术制备的ZnO外延生长技术,成膜快速、大面积、均匀、质量高、符合产业化的发展要求。且成膜质量高、容易对掺杂进行控制,对于研究ZnO的电输运特性、杂质行为等物理机理,解决

• 出版日期2013
• 单位中山大学; 光电材料与技术国家重点实验室