超导铌腔电抛光去除厚度的控制方法

作者：游雨松; 陈明伦; 张国华; 李奇玲; 张咏; 赵红运

来源：云南冶金, 2018, 47(06): 68-85.

• 超导铌腔
• 电抛光(EP)
• 去除厚度
• 理论跟踪计算

我公司和北京大学于2017年共同建立了电抛光(electro-polishing,简称"EP")装置,并对EP去除厚度的控制方法进行了大量试验,从称重、超声波测厚仪测厚及理论跟踪计算三个方面阐述了超导铌腔EP过程中去除厚度的控制方法。试验主要以理论跟踪计算为主,称重和超声波测厚仪测厚为辅来验证理论跟踪计算的准确性.通过多次EP试验,结果表明理论跟踪计算是控制EP去除厚度最为直接、可靠的一种方法。

• 出版日期2018
• 单位宁夏东方钽业股份有限公司