音叉光纤一体式三维谐振测头是一种应用于微纳米三坐标测量机的新型测头,由石音音叉与光纤测杆测球组成。为了保持测头的振动稳定性与测量准确性,测杆的长度被限制在1 mm以内,导致其测量较大深宽比微结构的能力受限。为了在保障测头测量性能的同时,进一步提高测头的测量能力,对测头进行了优化改良,并进行了性能测试实验。
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