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Novel microwave plasma-assisted CVD reactor for diamond delta doping
作者：Vikharev A L; Gorbachev A M; Lobaev M A; Muchnikov A B; Radishev D B; Isaev V A; Chernov V V; Bogdanov S A; Drozdov M N; Butler J E
来源：
Physica Status Solidi-Rapid Research Letters
, 2016, 10(4): 324-327.
DOI：10.1002/pssr.201510453
出版日期
2016-4
单位
Russian Academy of Sciences
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