MEMS微变形镜测试技术及算法研究

作者：陈家凤; 肖风华

来源：光学技术, 2012, (02): 185-190.

DOI：10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2012.02.008

• 光学测量
• 微变形镜
• 频闪成像
• 亚像素定位
• 5步相移干涉
• 相位解缠 optical measurement
• MEMS deformable mirrors
• stroboscopic imaging
• sub-pixel location
• five-step phase-shifting interferometer
• phase unwrapping

介绍了基于计算机控制的频闪显微干涉测量技术,实现了对MEMS微变形镜的表面形貌、离面变形、静态电压-位移曲线和谐振频率的测量。采用频闪成像、计算机微视觉技术以及基于最小二乘曲面拟合法的亚像素定位技术实现了对平面内微位移的测量;利用频闪成像以及5步相移干涉技术实现了对干涉相位的提取,建立了适合于MEMS微变形镜特性测试的相位解缠算法,恢复了代表被测物体表面形貌的真实相位,实现了微变形镜静动态特性的测试。测试结果表明:频闪显微相移干涉测量技术具有测量速度快、精度高、易实现自动控制等特点。

• 出版日期2012
• 单位中南民族大学