随着微机电系统(MEMS)的迅速发展,对微组装技术的需求日益迫切。介绍了微器件组装技术的研究和发展概况,包括顺行和并行微组装技术,并对各种微组装技术进行了比较。对未来微组装技术的发展和应用前景进行了讨论。
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