摘要

基于多频带金属开口谐振环结构,利用GaAs材料的光敏特性和VO2薄膜的热致相变特性,设计了一种既能实现光控又能实现温控的太赫兹(Terahertz,THz)波调制器,研究了光强和薄膜温度对THz波调制特性的影响。结果表明,随着光强的增加,谐振频率均出现蓝移且谐振强度减小,当光强达到0.2μJ·cm-2时,第二个谐振点(0.52THz)蓝移了0.14THz,透射幅度增加达50%;随着VO2温度增加至相变温度以上,THz波透射幅度急剧减小,在0.63THz处透射幅度减小达45.5%;当光强和温度同时控制时,随着光强和温度的增加,谐振点频率蓝移且谐振点处的THz波透射幅度增加,但在温度超过相变温度后,则温度控制起主导作用。设计的THz波调制器能通过光控和温控实现对THz波的明显调制效果,可为实现多功能的THz波功能器件的设计及应用提供参考。