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摘要
本发明公开了一种基于石英圆环谐振器的原子力探针式传感器,石英圆环谐振器正下方连接有探针,探针正下方设置有压力膜,石英圆环谐振器的水平直径方向上设置有电极,电极包括相互连通在外环表面的第一电极与第四电极,相互连通在内环表面的第二电极与第三电极；控制电路用于控制激振电路、驱动电路输出控制信号,激振电路分别通过引线连接第一电极与第四电极以及第二电极与第三电极；压电陶瓷驱动器的输出端连接于在石英圆环谐振器顶部中心位置,压电陶瓷驱动器与探针相对于石英圆环谐振器中心呈对称安装；压电陶瓷驱动器的驱动端通过引线连接驱动电路。本发明利用原子力检测压力膜的表面形变,具有纳米级别的分辨率。
- 出版日期2019-8-9
- 单位合肥工业大学
