HgCdTe钝化过程中形成的镶嵌结构及其热处理效应

作者：孙涛; 王庆学; 陈文桥; 梁晋穗; 陈兴国; 胡晓宁; 李言谨

来源：Pan Tao Ti Hsueh Pao/chinese Journal of Semiconductors, 2005, (01): 62-66.

• HgCdTe
• CdTe
• 钝化
• 二维点阵 HgCdTe
• passivation
• two-dimensional mapping

通过高分辨X射线衍射仪中的二维点阵研究了溅射的CdTe介质膜对HgCdTe外延层的影响 .发现在高溅射能量下沉积的钝化膜由于应力的作用 ,HgCdTe晶片出现弯曲及大量镶嵌结构 ,而这种镶嵌结构可通过合理的热处理工艺消除

• 出版日期2005
• 单位中国科学院上海技术物理研究所