高纯氮化硅粉体样品用氢氟酸、硝酸进行微波消解处理,采用电感耦合等离子体质谱法测定所得样品溶液中18种痕量元素的含量。选用合适的同位素和干扰校正方程消除了被测元素的干扰。方法的检出限(3s)在5.2～20.8pg.g-1之间。方法用于高纯氮化硅粉体样品中痕量元素的测定,加标回收率在89.2%～105.2%之间,相对标准偏差(n=6)小于10%。
科研之友
微信
新浪微博
Facebook
分享链接
